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利用纳米光机电一体化仪器(NOMI)探测纳米尺度


10th新兴材料与纳米技术国际会议

2017年7月27日至29日,加拿大温哥华

哈米德Sadeghian

荷兰应用科学研究组织,荷兰

主题:Res. Rev. J Mat. science

DOI:10.4172 / 2321 - 6212 c1 - 001

摘要

了解纳米尺度下物质的相互作用已成为若干应用成功的关键。在纳米电子或半导体行业,它有助于更好的制造(朝着10纳米以下结构的更高分辨率,更复杂的结构)和可靠的纳米测量和纳米检测(用于提高工艺的良率)。扫描探针显微镜是探测纳米尺度相互作用的NOMI之一。精确测量纳米尺度关键尺寸的能力使其成为半导体、太阳能和数据存储等几个工业应用中的重要仪器。单个SPM在吞吐量上始终无法与其他检测系统竞争,因此在吞吐量和成本上无法满足行业需求。进一步提高单个SPM的速度是有帮助的,但它仍然远远不能满足所需的吞吐量,因此不足以用于大批量制造。我演讲的第一部分介绍了多小型化SPM (MSPM)磁头系统(并行SPM)的概念发展,该系统可以并行地检查和测量多个站点。微型SPM磁头的高速度允许用户在几秒钟内扫描许多区域,每个区域都有几十微米大小。各种纳米成像,如地下探针显微镜也将提出。我演讲的第二部分是关于元乐器。 Meta-instrument is a type of optical nano-instrument where the core is based on optical metamaterials to go beyond the diffraction limits for high resolution imaging. Advantages of optical techniques compared to SPM is that they provide direct capture imaging which is fast and allow large fields of views to be covered quickly. The development of first generation of meta-instrument will be discussed in detail.

传记

Hamed Sadeghian于2010年获得代尔夫特理工大学博士学位(优等)。他继续他的研究助理的职业生涯,并开发了几个纳米尺度相互作用测量的纳米光机械仪器。他目前在TNO担任首席科学家。他的研究项目NOMI专注于开发基于电磁或机械/量子波与物质相互作用的仪器,重点关注工业和社会应用。例如,并行AFM作为半导体行业的亚纳米、高通量计量和检测解决方案,以及具有元仪器和3D纳米层析成像的高分辨率光学显微镜,以解决表面以下不可见的纳米结构。他是TNO早期研究项目3D纳米制造的科学领导者。在过去的5年里,他参与了多个欧盟资助的项目,如E450EDL, E450LMDAP, SeNaTe, Value4Nano, 3DAM和TakeMi5。2014年,他获得比利时鲁汶弗拉里克商学院工商管理硕士学位。他也是Jahesh Poulad Co.(2002年)的联合创始人,该公司为钢铁行业设计、制造和安装机械和电气设备。他拥有40项专利,并(共同)撰写了60多篇技术论文和一本书。 He is a member of the Editorial Advisory Board of Sensors & Transducers Journal and a member of the technical committee of SENSORDEVICES conference. In 2012, he has received the “TNO Excellent Researcher” award.

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