研究与评论:材料科学杂雷竞技苹果下载志
菜单ISSN: 2321 - 6212
ISSN: 2321 - 6212
达乌德·达斯坦和哈米德·加梅斯塔尼
佐治亚理工学院，美国
ScientificTracks抽象:Res. Rev. J Mat. science
DOI:10.4172 / 2321 - 6212 c8 - 035
利用溶胶-凝胶和自旋涂层技术，在硅衬底上以有机配体修饰的有机金属簇为基础制备了杂化光抗蚀剂。在硅衬底上以3000rpm转速旋转30秒，然后在环境条件下干燥。用Zetasizer测量了纳米颗粒和杂化材料的尺寸。这些薄膜在不同的温度下退火30秒，以去除表面可能的溶剂，形成混合光抗蚀剂。用极紫外(EUV)和深紫外(DUV)照射抗蚀剂。采用x射线衍射(XRD)、拉曼光谱、核磁共振(NMR)、电喷雾电离质谱(ESI-MS)、傅里叶变换红外光谱(FTIR)、能量色散x射线衍射光谱(EDS)、x射线光电子能谱(XPS)等方法研究了金属纳米团簇和混合光抗蚀剂的结构、热、分子、元素/成分、形态和物理性能。选择区电子衍射(SAED)和场发射扫描电子显微镜。相发育、热稳定性、化学反应性质、臭氧处理前后的元素/成分分析、EUV照射下配体裂解、表面形貌、颗粒大小、表面积、聚类配体对EUV照射下暴露区和未暴露区溶解度差异的贡献、光抗蚀剂中不同分子种类的分子量和分布等参数，利用上述表征技术，对EUV混合光抗蚀剂的成图机理、光刻性能进行了评价。
达乌德·达斯坦是佐治亚理工学院的助理研究员。在乔治理工大学任职之前，他是美国纽约伊萨卡康奈尔大学的博士后研究员。他正在研究用于能源应用的纳米材料。他发表了多篇论文，并一直担任著名的编委会成员。
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