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增长控制的垂直纳米石墨烯网络在等离子体增强化学汽相淀积和新兴应用程序


21先进材料与纳米技术国际会议

,2018年9月04-06 |苏黎世瑞士

圭吾武田,Takuya铃木仁Nozaki, Mineo一品”,Hiroki近藤和有何利的学者

Meijo大学、日本名古屋大学、Japa发表

ScientificTracks抽象:启J垫。Sci >

DOI:10.4172 / 2321 - 6212 c3 - 020

文摘

碳nanowalls(时间)由几层石墨烯站垂直于衬底有迷宫墙的结构由自营网络结构。时间的三维结构是有用的作为一个纳米电化学应用,如遥感平台、能量转换,等等,因为导电碳结构的大型表面和表面改性的广泛能力包括装饰与催化剂如金属纳米粒子。实现时间的应用等领域,控制时间的形态包括星际相邻纳米墙是至关重要的问题。在这项研究中,我们进行了时间增长与等离子体增强化学气相沉积(PECVD) "使用CH4 / H2 / Ar混合物与强调时间的表面形态控制。时间是在硅基片上生长在二氧化矽薄膜合成PECVD使用电感耦合"的CH4 / H2 /氩等离子体。此外,发射强度的CH物种(波长:430 nm)和H原子(巴尔末α线波长:656海里)的等离子体被光学发射光谱学监控。估计相邻nanowalls之间的空隙,平均面积包围nanowalls从顶视图的观察评估长时间通过扫描电子显微镜观察。从结果,发现平均面积变化的行为的相关性[H] / (CH)排放强度比在等离子体CVD Ar / CH4 / H2混合。认为碳前体之间的平衡和CVD等离子体蚀刻自由基影响成核初始成长阶段的时间,因此,相邻壁之间的空间变化的函数[H] / (CH)排放强度的相对密度比气相自由基。在我们的演讲中,我们报告的影响离子轰击和催化金属纳米成核的墙壁之间的控制来实现空间相邻的墙壁。

传记

圭吾武田完成了他在名古屋大学的博士和博士后研究研究生院工程、名古屋大学。他是自2017年以来Meijo大学副教授。他在著名期刊上发表了90多篇论文。他目前的研究兴趣包括等离子体过程中活性物种的反应机制为先进材料合成、精细加工技术和生物医学应用等。

电子邮件:ktakeda@meijo-u.ac.jp

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