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超声波和Megasonic清洗去除Nano-Dimensional污染物从不同的磁盘驱动器组件

文摘

本研究调查的影响各种磁盘驱动器组件的清洗频率。在这项研究中使用的磁盘驱动器组件是陶瓷垫片,e-coated磁盘分离器、塑料分离器和顶部覆盖。本研究使用的频率58 kHz, 58/132 kHz, 132 kHz, 360 kHz, 470 kHz和1 MHz。在这项研究中多种提取方法被用来找到除尘力和erodability部分和液体粒子计数器是用来测量粒子浓度提取的解决方案。各种频率的去除效率,最后冲洗也进行了研究。结果表明,360 kHz频率最终冲洗最佳适合去除亚微米粒子从各种各样的表面。结果还表明,360 kHz频率的去除效率最终冲洗高132 kHz,相比没有任何超音速在最后的冲洗。结果表明,清洁的部分与多个频率给更高的清洁和更低的侵蚀而独自单一频率。

Vetrimurugan, j . Michael古德森特里林

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