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玻璃基板上硅膜在软x射线照射下的结晶和样品温度计算

摘要

研究了软x射线源低温结晶过程中的样品温度。用热电偶或高温计测量了玻璃衬底上硅膜的温度，并利用计算流体动力学进行了计算。当采用不含样品与样品架热接触电阻的换热系数进行计算时，计算温度低于实测温度。雷竞技网页版认为在软x射线辐照过程中，热接触电阻是热计算的重要参数。雷竞技网页版而计算得到的平原温度分布(高温区面积)与结晶区基本一致。利用含接触热阻的有效传热系数可以计算出软x射线辐照过程中的样品温度。雷竞技网页版计算流体力学对软x射线辐照技术在工业上的应用具有重要意义。

平谷明和松尾直人

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